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2026-07-06 13:01 / 综合 / 知识 / 休闲 /

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广西新闻网-广西日报杭州电（特派记者钟文昌玉智威）9月24日晚，由张博恒、邹敬园、肖若腾、林超攀、兰星宇组成的中国体操男队以262.025分的总成绩夺得杭州亚运会体操男子团体金牌，蝉联该项目冠军，广西籍运动员兰星宇因此拿到自己的第一块亚运金牌，也为广西健儿在杭州亚运会上获得首枚金牌。
9月24日，杭州亚运会竞技体操男子团体冠军中国队选手兰星宇、林超攀、张博恒、肖若腾、邹敬园（从左至右）在颁奖仪式上。新华社记者程婷婷摄
24日亚运会首个体操比赛日进行的是男子资格赛和团体决赛，资格赛成绩直接决定了团体赛成绩。中国队在第三场资格赛中亮相，第一个项目鞍马比赛中，张博恒、肖若腾都拿到了14分以上的成绩。
中国队在男子吊环上占据绝对优势，兰星宇、邹敬园、张博恒三人出战，成绩包揽前三。其中，兰星宇以全场最高难度分6.4分的成套动作，位列这个项目第一。在吊环项目上，中国队拿到44.466分，比排在第二的日本队高出2.967分。
中国队最后一个项目为自由体操，林超攀、肖若腾、张博恒先后上场。当张博恒以一套漂亮的动作完成比赛后，中国队队员们振臂欢呼，14.933分！团体总分262.025分已经超越日本队来到了得分榜榜首。队员们甚至已经拿出国旗开始庆祝胜利。在欢呼声中，兰星宇完成了个人最后一套动作，尽管有些瑕疵，但得分已不重要，中国队已将冠军收入囊中，成功卫冕！
“兰星宇助力国家队夺得男子体操团体金牌，为参加杭州亚运会比赛的广西健儿开了个好头。”当晚，在杭州黄龙体育中心体操馆，分管竞技体育的自治区体育局副局长魏鹤，观看了中国体操男队团体赛夺冠的全过程，并肯定了广西籍运动员兰星宇在此次比赛中的表现。
赛后，在评价自己的表现时，兰星宇的神情开始有些凝重，他直言不讳地说：“第一次参加综合性运动会，还是有压力的，我今天还是紧张了，在一些项目的表现上有瑕疵。”
9月28日，兰星宇将出战吊环决赛。作为近年来中国男子体操的吊环担当，他立志要拿出比这个夜晚更好的表现，“我会调整好心态，这几天把动作的细节跟规格再提升一下，相信会取得好成绩的”。
" alt="广西亚运健儿首金来了兰星宇助力中国队卫冕亚运会体操男团冠军">
随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">
【图：黄金原油外汇股指枢轴点及多空持仓信号解读，来源：汇通财经特制图表。(点击图片放大看大图)】

净空头减少的有：欧元兑日元EUR/JPY、美元兑日元USD/JPY、澳元兑日元AUD/JPY。

净多头扩大的有：现货黄金XAU/USD、美国原油WTI OIL、富时中国A50☆FTSE China A50、标普500指数S&P 500、日经225指数Nikkei225、欧元兑澳元EUR/AUD、美元兑瑞郎USD/CHF、美元兑离岸人民币USD/CNH。净多头减少的有：现货白银XAG/USD、香港恒生指数HK50 Hang Seng、纳斯达克100 Nasdaq 100、道琼斯指数US30、德国DAX40 GERMANY 40、澳元兑美元AUD/USD、纽元兑美元NZD/USD。

汇通财经提醒，持仓信号是据“净多头%最新”与“净多头%昨更”数据对比得来，净多头有所增加则信号是“净多头扩大”，净多头由负变正则是“持仓逆转为净多头”，以此推理。表格中，“净多头%最新”指当前“多头占比减去空头占比”，“净多头%昨更”表示上次更新的(通常上个交易日更新的)净多头数据，以便对比。净多头为负即多头占比＜空头占比。净多头为正，即多头占比＞空头占比。从最新净多头%与昨更净多头%（上个交易日净多头%）进行数据对比的角度，解读出的“持仓信号”共覆盖“净多头扩大、净多头减小、净空头无变动、净空头转为多空平衡”等13种信号，据实际数据对比结果对应展示其中的某几种，详见本文图表。此持仓信号仅供参考，不作为交易依据。行情价格当前走向可能与头寸指示方向出现矛盾，这些矛盾可能蕴含着某种潜在机会，同时，后续价格走势受各方面复杂影响，交易者需自行做决断。

【本图表涉及到的交易品种有：现货黄金、现货白银、美国原油、富时中国A50、香港恒生指数、标普500指数、纳斯达克100、道琼斯指数、德国DAX40、欧元兑美元、欧元兑英镑、欧元兑日元、欧元兑澳元、英镑兑美元、英镑兑日元、美元兑日元、美元兑加元、美元兑瑞郎、澳元兑美元、澳元兑日元、加元兑日元、纽元兑美元。】

" alt="一张图：2026年3月24日黄金原油外汇股指“枢纽点+多空持仓信号”一览">

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